型号FLT-002
温度范围5℃～40℃
产品热流仪
控温精度±0.1℃
流量控制 10～25L/min 5bar max
制冷量at10℃6kw
产品名称侧墙刻蚀单通道chiller
【 冠亚制冷 】半导体行业主营控温产品：
半导体专温控设备
射流式⾼低温冲击测试机
半导体**温控设备chiller
Chiller气体降温控温系统
Chiller直冷型
循环风控温装置
半导体⾼低温测试设备
电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源
射流式高低温冲击测试机
快速温变控温卡盘
数据中心液冷解决方案
半导体**温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可缺的关键设备。
半导体**温控设备（Chiller）依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内，将热量带入半导体**温控设备，半导体**温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。
半导体行业控温解决方案-高精度温控系统
⽆锡冠亚恒温制冷技术有限公司是⼀家集研发、⽣产和销售为⼀体的⾼端装 备制造企业，主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等专⽤设备，⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。产品精度高、温度控制智能，温度控制范围宽，从-150℃ ~ +350℃俱全，适合多数企业恒温控制需求。控温精度可达±0.1℃，制冷功率从0.5kW到1200kW均可提供相应产品。
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